"Erzeugung von dreidimensionalen Mikrostrukturen in wide bandgap und hoch wärmeleitfähigen Materialien und in ta-C-, n-D- und c-BN-Schichten sowie mikromechanischen Bauteilen aus ta-C durch Lasermikro- und Lasernanostrukturierung"

Bearbeitung:
Betreuung:

Dipl.-Ing. (FH) Manuel Pfeiffer
Prof. Dr. rer. nat. Steffen Weißmantel

Neben dem Mikrostrukturieren zählt das Fügen, Abtragen, Bohren und Oberflächenmodifizieren mit Laserstrahlen, unter anderem aufgrund der hohen Präzision, zu den Haupttätigkeitsfeldern der Mikrotechnik. Da diese Verfahren bei der stets stärker werdenden Miniaturisierung an physikalische Grenzen stoßen, besteht ein großer Forschungsbedarf, um immer kleiner werdende Strukturen mit möglichst hoher Qualität erzeugen zu können. Ziel dieses Projektes soll es sein, neue Erkenntnisse auf dem Gebiet der Lasermikro- und Lasernanostrukturierung von hochwärmeleitfähigen Metallen sowie in wide bandgap Materialien (Festkörpermaterialien mit großer Energiebandlücke) zu erlangen. Neben diesen Materialien steht die Lasermikro- und Lasernanostrukturierung in ta-C-, n-D- und c-BN-Schichten, die Erzeugung von Interferenzstrukturen für mikrosystemtechnische Anwendungen, sowie die Präparationen von mikromechanischen Bauteilen im Vordergrund. Um die notwendige Genauigkeit und Auflösung der Mikrostrukturen zu realisieren, werden das Fokusabtrag- wie auch das Maskenprojektions­verfahren bei verschiedenen Excimer-, Fluor- und Ultrakurzpuls­laseranlagen eingesetzt.


Ziele Teilthema (6):

  • Untersuchung der Abtragsprozesse
  • Lasermikro- und Lasernanostrukturierung von wide bandgap und hoch wärmeleitfähigen Materialien
  • Lasermikro- und Lasernanostrukturierung von ta-C-, n-D-, c-BN - Schichten
  • Erzeugung von dreidimensionalen Mikrostrukturen
  • Erzeugung von Interferenzgitterstrukturen durch Lasermikrostrukturierung
  • Präparation von mikromechanischen Bauteilen

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Dipl.-Ing. (FH) Manuel Pfeiffer
Tel.:03727/58-1072
 03727/58-1395
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Net: HSMW - Profil

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